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佳能:目标最快今年开始交付低成本纳米压印光刻设备
佳能押注“纳米压印”技术:降低先进工艺生产成本,加速追赶 ASML
佳能押注“纳米压印”技术,价格比 ASML EUV 光刻机“少一位数”
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